| 型式 |
IRT-5000 |
| 対応FTIR本体 |
FT/IR-4000シリーズ、6000シリーズ |
| 測光方式 |
透過・反射測定 |
| 観察方式 |
ダイレクト・スルー方式 |
検出器
オプション |
ミッドバンドMCT検出器
ナローバンドMCT検出器
ワイドバンドMCT検出器
DLATGS検出器
InSb検出器
InGaAs検出器
リニアアレイナローバンドMCT
リニアアレイInSb検出器
リニアアレイInGaAs検出器 |
| 検出器切り換え |
オプション:2検出器搭載可能(ソフト切換)
オプション:第2検出器着脱機構 |
| SN比 |
5000:1 |
| 観察 |
スマートモニタ(試料測定、観察同時可能)
CMOSカメラ:3倍光学ズーム付
オプション:カラー液晶モニタ、二眼鏡筒(ATOS機構内蔵) |
| 観察照明 |
オートブライトネス機能付き |
| 対物鏡 |
10倍、16倍、32倍選択 |
| 対物レンズ |
オプション:10倍、20倍 |
| 対物鏡切換機構 |
4穴電動レボルバー切換、対物自動認識機構付 |
| 集光鏡 |
10倍、16倍、32倍選択 |
| 集光鏡自動調整 |
標準機能 |
| アパーチャ |
自動2軸独立可変、回転 |
試料ステージ オプション |
マニュアルステージ
自動XYZステージ(オートフォーカス機能付き)
ジョイスティック |
| 真空対応 |
工場オプション |
| ●標準機能 |
| スマートマッピング機能 |
ステージ移動を伴わないエリアマッピング、ATRマッピング、ラインマッピング、多点測定 |
自動XYZステージ制御
(自動XYZステージ取付時) |
ステージ移動、センターリング、エリアマッピング、ATRマッピング、ラインマッピング、多点測定、オートフォーカス、ATR圧力制御、マルチATRマッピング |
| データ処理 |
ピーク高さ、2ピーク高さ比、ピーク面積、2ピーク面積比、ピークシフト、ピーク半値幅、距離計測 |
| イメージ表示 |
カラー3D表示、鳥瞰図表示、等高線表示、色分け表示、三次元表示、二次元表示、オーバーレイ表示 |