| 型式 |
IRT-7000 |
| 対応FTIR本体 |
FT/IR-4000シリーズ、6000シリーズ |
| 測光方式 |
透過・反射測定 |
| 観察方式 |
ダイレクト・スルー方式 |
検出器
オプション |
リニアアレイナローバンドMCT
ミッドバンドMCT検出器
リニアアレイInSb検出器
リニアアレイInGaAs検出器
ナローバンドMCT検出器
ワイドバンドMCT検出器
DLATGS検出器
InSb検出器
InGaAs検出器
|
| 検出器切り換え |
2検出器搭載可能(ソフト切換) オプション:第2検出器着脱機構 |
SN比 (リニアアレイMCT検出器) |
1000:1 |
SN比 (単素子MCT検出器) |
5000:1 |
ピクセル分解 (リニアアレイMCT検出器) |
6.25μm□(32倍)、12.5μm□(16倍)、20μm□(10倍:オプション) |
測定時間 (リニアアレイMCT検出器) |
1.6秒
FT/IR-6000、測定エリア100×100μm、ピクセル分解6.25μm□、分解16cm-1、1回積算 |
| 観察 |
スマートモニタ(試料測定、観察同時可能)
CMOSカメラ:3倍光学ズーム付
オプション:カラー液晶モニタ、二眼鏡筒(ATOS機構内蔵) |
| 観察照明 |
オートブライトネス機能付き |
| オートフォーカス |
標準 |
| 対物鏡 |
16倍、32倍 10倍(オプション) |
| 対物レンズ |
オプション:10倍、20倍 |
| 対物鏡切換機構 |
4穴電動レボルバー切換、対物自動認識機構付 |
| 集光鏡 |
16倍、32倍 10倍(オプション) |
| 集光鏡自動調整 |
標準機能 |
| アパーチャ |
自動2軸独立可変、回転(単素子検出器使用時) |
| 試料ステージ |
自動XYZステージ
ジョイスティック(オプション) |
| 真空対応 |
工場オプション |
| ●標準機能 |
| スマートマッピング機能 |
ステージ移動を伴わないエリアマッピング、ATRマッピング、ラインマッピング、多点測定 |
| 自動XYZステージ制御 |
ステージ移動、センターリング、エリアマッピング、ATRマッピング、ラインマッピング、多点測定、オートフォーカス、ATR圧力制御、マルチATRマッピング |
| データ処理 |
ピーク高さ、2ピーク高さ比、ピーク面積、2ピーク面積比、ピークシフト、ピーク半値幅、距離計測 |
| イメージ表示 |
カラー3D表示、鳥瞰図表示、等高線表示、色分け表示、三次元表示、二次元表示、オーバーレイ表示 |
| PCAマッピング |
標準 |