●	ユーザーフレンドリーな操作性を実現	●NRS-3300 NRS-3300は低波数測定ユニットとの組み合わせにより、10cm-1の低波数領域まで対応します
●	ダイレクトドライブ方式のモノクロメータと高性能ノッチフィルタの組み合わせにより、高い波数精度と高感度化を実現
●	グレーティングを最大3枚搭載でき、広い測定範囲をカバー
●	レーザを最大6台まで搭載可能
●	日本分光独自のSRI機能（SRI:Spatial Resolution Image／特許出願中）により、PCモニタ上で試料像とアパーチャ像およびレーザビームを同時観察
●	コンフォーカル光学系により深さ方向の測定が可能
●	イメージング測定に対応可能
●	オートアライメント機能によりシステムの安定性を追及
●	レーザ放射安全基準クラス1の安全性を確保
●	スペクトル検索プログラム及びデータベースを標準搭載

●Si基盤のストレス評価
	ストレス評価 ラマン分光法は、結晶Si材料に関して、内部応力や残留応力の評価にも応用できます。応力フリーな結晶Siの場合、約520cm-1に鋭いピークを持ちます。ここに圧縮応力が加わった場合、その力によって格子間距離が縮まると考えられます。ラマンのピーク波数位置は、格子間距離とその間のばね定数で決定されるので、加わった圧縮応力の大きさに比例して、ピーク波数位置が高波数側にシフトします。引っ張り応力に関しては、その逆に、応力に比例して低波数側にピーク波数位置がシフトすると考えられます。
●先進の顕微鏡ユニット
	顕微鏡部分は、画像特性が大幅に向上し、偏光顕微鏡、微分干渉顕微鏡としての機能も付加でき、異物観察やコントラストのハッキリしない試料の観察時に有効です。また、自動XYZ測定ステージユニットを追加することによりマッピング測定にも対応できます。 試料室のドアはモータドライブで開閉します

仕様

NRS-3100 NRS-3200 NRS-3300 ▼光学系 測定波数範囲 (532nm励起時、ラマンシフト値) 50-8000cm-1 50-8000cm-1 10-8000 cm-1 （低波数測定ユニット使用時) 最高分解（532nm励起時) 1cm-1(0.4cm-1オプション) 標準搭載レーザ グリーンレーザ(532nm) 拡張可能レーザ 可視〜近赤外 紫外〜近赤外 搭載可能レーザ数 6台 光軸調整 オートアライメント機能 波数校正 Neランプによる波数校正 標準CCD検出器 1024×128pixel 冷却温度 -65℃(空冷時) -80℃（水冷時) 1024×128pixel 冷却温度 -75℃(空冷時) -90℃(水冷時) レーリー散乱光カットフィルタ ノッチフィルタ（手動交換) ノッチフィルタ（手動交換)、自動交換（オプション) 分光器駆動方式 高精度ダイレクトドライブ方式 イメージング測定 − オプション 分光器 f=300mmシングルモノクロメータ グレーティング最大3枚搭載可能（オプション) f=300mmシングルモノクロメータ グレーティング最大3枚搭載可能（オプション) 低波数測定ユニット ▼測定部 顕微鏡光学系 コンフォーカル光学系 ステージ マニュアルステージ、自動XYZ測定ステージ（オプション) 空間分解能イメージ SRI機能