自動絶対反射率測定システムは、V-600シリーズと自動絶対反射率測定ユニットとを組み合わせて、 半導体、薄膜、 光学素子、光デバイスなど各種固体試料の分光特性や膜厚などを測定するためのシステムです。入射角は試料ステージを回転させることにより設定し、受光角は積分球をスライドさせることにより制御します。 また、入射角と受光角は非同期モードで個別に設定できます。さらに、P 偏光と S偏光の指定や偏光子の角度の任意設定により、試料の偏光特性を調べることも可能です。

◆ システムの特長 ● 角度設定やスペクトル測定などの条件設定を PC で直接制御 ● 紫外から近赤外域まで測定波長範囲が広い ● ダブルビーム光学系による優れた測光安定性 ● 入射角、受光角が個別に制御可能 ● 偏光測定機能を標準搭載 ● 専用試料ホルダにより試料の脱着が簡単     ◆測定例 ■ノッチフィルタの解析

◆ 試料室 試料と検出器の配置

測 定 波 長 範 囲 250 〜 850nm （ARMV-734）、250 〜 2000nm （ARMN-735） 測 定 モ ー ド 絶対反射率測定、透過率測定 入  射  角 5°〜 60° （絶対反射率測定）、 0°〜 60° (透過測定) 角 度 間 隔 0.1° ステップ 装 置 設 定 モ ー ド 同期、非同期 （入射側と受光側） 偏  光  子 S 偏光 ( 0°)、P 偏光 ( 90°)、N 偏光 ( 45°)、任意設定

※ARMV-734はV-650,660用、ARMN-735はV-670用です。