NISTから発表された CaF2等のフッ化物の複屈折は、光リソグラフィーの高解像度実現に大きな障壁となりました。現在では補償法が確立されて克服の目処が立っていますが、その成否を検証する為にも、真空紫外波長域での高感度複屈折計が必要とされています。    本装置は、日本分光で長年培われてきた偏光測定技術を真空紫外域に拡張した、高感度複屈折測定へのソリューションです。偏光変調法に基づき、真空紫外波長域でフッ化物等の複屈折測定を行います。酸素や水による吸収を排除するために、光路は全て窒素パージされています。

◆ システムの特長	◆ CaF2 のリターデーション
● 高感度測定 位相差角を逆正弦関数から求めているので 0.1nm 以下の高感度の測定が可能です。変調周波数成分の取込信号 aw が位相差角Δ と aw=-sin(Δ)で結ばれます。ゼロ付近の微小位相差領域で最高の検出感度が得られる測定系です。 ● 高安定測定 光サーボコントロールされた光弾性変調子を用いているため、安定性に優れた測定系です。 参照光束でモニターされた PEM の変調状態を直接制御しているので、屈折率が急激に変動する真空紫外域でも波長に応じた精確な変調（波長自動プログラム）を実現しました。また窒素パージ下などの、不安定な雰囲気中でも 0.1% 以下の高い安定性を達成しています。	中心値は NIST の文献値 11.2nm と一致し、バラツキは 0.05nm 以内に収まっています。 0.05nm のバラツキはロードマップによる要求仕様 1nm/cm を検証するのに十分です。

波  長  範  囲   140 nm 〜 320 nm （以下は157nmにおける値） リターデーションの感度   0.05 nm 安   定   性   1カウント／時間 検  出  下  限   0.17 nm at 157 nm