FTIR を用いた温室効果ガスの同時モニタリング

Introduction

地球環境に影響を与えているガスのうち、比較的安定で長寿命の二酸化炭素やメタン、ハロゲン化カーボン等は地球温暖化への影響が大きく温室効果ガスと言われています。一方、窒素化合物、硫黄化合物、VOC ガス等は反応性があり、光化学スモッグや室内環境の悪化をもたらす大気汚染ガスとなります。また半導体製造過程で使用されるガス類は有害なものが多く、これらもまた厳密な管理、モニタリングを必要とします。これらのガスを目的に応じたシステムでモニタリングすることは地球上の大気環境を把握する上で重要です。新しく開発された赤外ガス分析システム専用プログラムの特徴は差スペクトル演算機能を用いることで非常に類似した複数成分を同時に分析することができるようになっています。時間変化測定を行なうことで連続モニタリングが可能になります。

Keywords