FTIR用長光路（12m）ガスセルの開発と応用

一般的にガス分析にはFTIRや非分散赤外分析装置、ガス検知管、GCMSなどが使用されます。また、最近では量子カスケードレーザーを用いたガス分析なども注目を集めています。それぞれの分析手法には利点、欠点がありますが、FTIRは複数のガス成分を前処理なく短時間で測定できる特長があります。FTIRの測定事例には｢温室効果ガスのモニター｣、｢火災現場でのガスの定性・定量分析｣、｢ボンベ中に含まれる水分の定量分析｣などがあります。

実際にFTIRで低濃度ガスの分析を行う場合、長光路ガスセルをFTIRの試料室に設置して測定を行います。長光路ガスセルを用いて低濃度のガスを測定する場合、これまでのガスセルはスループットが低く液体窒素が必要なMCT検出器を用いる必要がありました。今回開発したガスセルは、光路長12mで光学系を最適化することにより高いスループットを実現し、ppm以下のガス濃度をTGS検出器で定量することが可能となりました。また、測定目的に応じてガラスタイプ、ステンレスタイプ、全真空タイプの3種類のガスセルから選択することができます。ここでは、それぞれのガスセルの特長および用途を紹介します。