薄膜の厚みや分子構造の評価をしたいのですが、どの測定方法が最適なのでしょうか?

薄膜測定に用いられる手法は透過法、反射法、ATR法の3つに大きく分けられます。膜厚・基板の種類、知りたい情報によってこれらを使い分けることが重要です。

ここでは、それぞれの測定方法の概要、応用事例、対応する付属品を紹介します。