MSV-5000 series 微細なSiパターンの自然酸化膜の膜厚解析

MSV-5000 seriesは、紫外域から近赤外域にわたる広範囲な波長領域の透過・反射測定が可能な顕微分光システムです。測定領域サイズは最小10µmφまで設定でき、高解像度カメラにより試料を観察して測定位置を決定することができるため、微小試料や微細構造を持つ試料の測定が行えます。ここでは微細構造を持つ試料として、Ti基板上に幅35µmのSiパターンが14µm間隔で配列している試料について、Siパターンの反射率スペクトルを測定領域サイズ10µmφで測定した例をご紹介します。さらに、Siは大気に触れると表面が酸素と結合して薄い酸化膜（SiO₂）が生成されるため、得られた反射率スペクトルから、Si上に形成されたSiO₂の膜厚を解析しました。