オプションの蛍光観察や偏光観察、微分干渉観察、微分干渉観察があります。これらを使用することによって、通常の可視観察よりも測定ポイントを鮮明に観察できる試料もあります。
赤外顕微鏡IRT-5000/7000は高解像度CMOSカメラと3倍光学ズームが標準搭載され、微小異物を鮮明に観察することができます。さらに各種観察用ユニットを使用することによって、一見可視観察では均一に見えるサンプルの蛍光性や偏光特性、凹凸や屈折率の違いを視覚的に識別できるため、測定ポイントを的確に設定できます。