ラマン分光法によるDLC膜の評価方法

DLC（ダイヤモンドライクカーボン）は、表⾯のコーティング材料として、機械部品、⾃動⾞部品、⼯具、⾦型などの耐磨耗性、⻑寿命化など様々な⽤途で使⽤されています。ラマン分光法で DLC を測定すると、1800 cm^-1から1000 cm^-1付近のブロードな２つのバンドが検出されます。この２つのバンドから G バンドと D バンドの高さや面積の比を算出することで、耐磨耗性などの膜質の評価をすることができます。