膜厚測定装置

UTS-2000

モデル名	UTS-2000
計測方式	フーリエ変換干渉膜厚計測法
測定配置	反射、透過（オプション）
測定サイズ	20 × 20 ～ 500 × 500µm（顕微モデル） φ2, 3, 4, 6mm（マクロモデル）
モニタリング	内蔵CMOSカメラにより測定部位を確認（顕微モデルのみ）
測定膜厚範囲	0.25µm～750µm（近赤外でSiを測定した場合） 0.7µm～750µm（中赤外でSiを測定した場合）
測定膜厚再現性	0.005µm以下（同一点繰返し測定時、Siの場合）
ストローク	200mm × 200mm^*1
駆動分解	2µm
装置制御	JASCOスペクトルマネージャによる光学系制御/XYステージ制御/搬送機制御（オプション）

*1 これ以上のサイズはご相談ください