顕微紫外可視近赤外分光光度計
顕微紫外可視近赤外分光光度計 MSV-5500 / 5700 / 5800 の特長
ラインアップ
- MSV-5500:紫外可視域対応のスタンダードモデル
- MSV-5700:シリーズ最長の波長範囲対応モデル
- MSV-5800:近赤外域の高感度測定モデル
最小10 µmΦで紫外可視近赤外領域の透過・反射測定が可能
半導体デバイスや光学素子などの工業製品評価や機能性材料の研究開発など幅広い分野への応用ができます。
高性能分光光度計に匹敵する基本性能
モノクロメーターで分光した光を集光して試料に入射する前分光方式を採用。微小領域でも高い直線性と波長正確さを持つ分光測定ができます。
直線性の高さ
前分光方式の採用により、直線性の高い検量線が得られ、顕微分光でありながら定量的な議論ができます。また、ダーク補正の機能により、吸収の強い試料も精度よく測定できます。過マンガン酸カリウム水溶液の 526 nm の吸収では、約4 Abs まで直線性の高い検量線が得られました。
高い波長分解と波長正確さ
ツェルニーターナーマウントのモノクロメーターを採用し、光学フィルター等の狭い波長領域で大きく吸光度が変化する試料や、シャープなピークの測定で精度の高いデータが得られます。シャープなピークが連続するガスの吸収スペクトルもスペクトルバンド幅 0.1 nm の高分解で測定できます。
ダブルビーム光学系による優れた測光安定性
測定時に参照光をモニターすることで測光値の変動を低く抑えます。スペクトルマッピング測定などの長時間測定の場合にも、安定した測定ができます。
操作しやすい広い試料室
広く見やすい試料室で試料のセットもスムーズに行えます。また、スライド式の遮光扉を備え、外光の影響を受けずに測定できます。
正確な測定ポイントの設定をサポートする観察機能
顕微鏡に内蔵の高解像度カメラを介して、鮮明な観察画像をPCのモニター上にて確認できます。また、日本分光独自のATOS機構と併せ、測定光を観察できるため、正確に測定位置のデータを取得することができます。
ATOS機構による測定位置の観察
試料画像上に測光アパーチャーの光学像を結像させる(ATOS光:Aperture Through Optical System)ことで試料のどの部分を測定しているか明確に判ります。入射光の像と併せて確認することで測定ポイントを確実に狙うことが出来ます。
偏光観察
樹脂テープを重ねたものを観察しました。無色透明のテープですが、偏光観察により偏光状態の違いが色として鮮明に現れています。
4穴電動レボルバー
4つまでカセグレイン対物鏡または対物レンズを装着できます。倍率の異なるカセグレイン鏡やレンズを追加することによって、倍率を変えて観察でき、測定ポイントを的確に決めることができます。
求める情報を可視化する解析プログラム
1点、多点、マッピングの各測定モードの測定データが解析できます。ピーク検出やピーク高さの計算などのデータ処理機能に加え、色彩計算と膜厚計算が標準で付属します。自動ステージを使用したマッピング測定データの解析結果は簡単な操作でカラー3D図や3次元図、等高線図、色分け図などで表示することが可能で、単独のスペクトルとしても解析や保存できます。
顕微スペクトル解析プログラム
測定スペクトルと観察画像を表示し、ピーク検出やピーク高さを計算します。
膜厚計算
サンプル由来の干渉波から膜厚を計算するプログラムです。
多層膜解析プログラム
多層膜の膜厚解析や光学定数(n,K)の波長分散の計算などより高度な解析ができます。
カラー診断解析プログラム
色彩計算結果を各種色度図上にプロットでき、合否判定もできます。
シェアリングホルダー
シェアリングホルダーを使用することにより、各顕微装置において同一箇所を容易に測定できます。
