製品情報
BRV-100
真空紫外複屈折計
BRV-100
※こちらの製品は現在販売しておりません。
特長
測定例
仕様
測定例
CaF
2
のリターデーション
中心値はNISTの文献値11.2nmと一致し、バラツキは0.05nm以内に収まっています。0.05nmのバラツキはロードマップによる要求仕様1nm/cmを検証するのに十分です。
図1 CaF
2
のリターデーション
特長
測定例
仕様
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