走査型近接場光学顕微分光システムNFSシリーズはナノテクノロジーに対する日本分光の新しいソリューションです。
微小領域におけるキャラクタリゼーションの方法として、電子線を用いた電子顕微鏡による形態観察、X線マイクロアナライザによる元素分析、走査型プローブ顕微鏡による表面形状観察があります。これらの分析方法は、高い空間分解能の像が得られますが、試料表面の化学情報を得ることができません。
一方、顕微FT/IR分光、顕微フォトルミネッセンス分光、顕微ラマン分光などにより表面の化学情報が得られますが、空間分解能に限度があるため、得られる情報はミクロンスケールにとどまっていました。光は回折限界により、使用する波長程度までしか絞れないためです。この回折限界を越えた極微小領域でのキャラクタリゼーションを可能にしたのが走査型近接場顕微鏡NFSシリーズです。