直径30mm、厚み2mmのCaF2を測定しました。波長157.6nmで連続100回の計測を5回行いました。V-1000の再現性の高さが確認できます。
測定 |
平均透過率 | 標準偏差(標本数: 100) |
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1回目 | 86.07% | 0.025% |
2回目 | 86.03% | 0.023% |
3回目 | 86.02% | 0.023% |
4回目 | 86.04% | 0.024% |
5回目 | 86.05% | 0.025% |
アルミミラーとMgF2でコーティングしたアルミミラーの反射率スペクトルを測定しました。図1のように、真空紫外領域のスペクトルの差異を観察することができました。