位相差角を逆正弦関数から求めているので0.1nm以下の高感度の測定が可能です。変調周波数成分の取込信号awが位相差角Δとaw=−sin(Δ)で結ばれます。ゼロ付近の微小位相差領域で最高の検出感度が得られる測定系です。
光サーボコントロールされた光弾性変調子を用いているため、安定性に優れた測定系です。参照光束でモニターされたPEMの変調状態を直接制御しているので、屈折率が急激に変動する真空紫外域でも波長に応じた精確な変調(波長自動プログラム)を実現しました。また窒素パージ下などの、不安定な雰囲気中でも0.1%以下の高い安定性を達成しています。