真空紫外分光光度計
V-1000
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紫外・真空紫外光領域の新たなニーズとして、ワイドバンドギャップ半導体・リソグラフィー・蛍光体などの分野があります。V-1000は､真空紫外領域（115nm～300nm）の吸光度・透過率測定を可能にした分光光度計です。窒素パージ方式の採用により装置の小型化を実現、真空引きのための煩雑な操作も不要となり、試料のセッティングから測定開始までが短時間で行えます｡ダブルモノクロメーター採用により高い測光再現性を実現しています。
真空紫外分光光度計 V-1000の特長
157nm領域での高精度測定
ダブルモノクロメーターを採用することで迷光を抑えた造りになっています。さらに、モニタダブルビーム方式採用により、測光再現性を高めています。157nmにおいて測光再現性が0.03%以下を実現しています。
透過・反射測定の切換が容易
試料のハンドリングが容易で、透過測定と反射測定（5°または45°入射）の配置が選択できます。
短時間で測定開始
パージ効率を上げ、光路内の淀みを無くし、短時間で測定準備が終わります。
