エリプソメータ

PEMデュアルロックイン方式（日本分光特許：第2064627号）は、波長に応じたPEMの駆動電圧を光サーボ（日本分光特許：第2081599号）で自動制御しているため、高精度で高速な波長スキャン測定が可能です。

PEMデュアルロックイン方式は高速な電気的変調（50kHz）であるため、偏光子の機械的回転を伴う方式に比べはるかに高速で、1msecからのデータサンプリングが可能です（ELC-300では20µsec）。

PEMデュアルロックイン方式により、機械的誤差のない静的な測定系が実現しました。さらに光サーボ、光リファレンス（日本分光特許：第2672414号）の採用で高い安定性を得ています。

PEMデュアルロックイン方式は、誘電体、半導体の極薄膜に最大感度が得られる独自の偏光素子の配置を採用しており、高感度な薄膜分析が可能です。

焦点距離250mmのダブルモノクロメータとXeランプから構成されるモノクロ光源およびHe-Neレーザ光源を標準搭載し、簡単な操作で切り換えられます。また、半導体レーザ等のオプション光源の搭載が可能です（M-210、M-550を除く）。

多種多様な測定要求に対応したステージブロック群が用意してあり、ユーザーサイドでの交換が可能です。また、大型試料室を標準装備し、サブベース上をユーザーに開放しているので、様々な応用測定が可能です。