優れた共焦点光学系(DSF)を採用することで、回折限界に近い高空間分解能での測定を実現しました。
ビームエキスパンダーによりレーザー光を対物レンズの瞳径に適したサイズに成形し、レーザースポットを絞り込みます。この絞り込みにより空間分解能を上げ、微小領域・微小量分析に力を発揮します。
レーザーの波長に応じたビームエキスパンダーを個別に配置しています。複数レーザー搭載時も、各レーザーを最適な光束で対物レンズへ導入し、理想的な絞込みにより高い空間分解能が得られます。
NRS-5500は焦点距離300 mmの分光器を搭載し、S/N比と分解能のバランスを重視した設計になっています。NRS-7500は、焦点距離500 mmの分光器を搭載し、最高レベルのピーク分解能を達成する設計になっています。
ラマンを発表してから約50年、技術力と経験の蓄積がNRS-5500およびNRS-7500に集約されています。
シリコンに応力がかかっている場合、ピークがわずかにシフトします。そのシフト値から応力の大きさが解析できます。Neランプとの同時測定*を行うことで、高精度な応力測定ができます。
*Neランプとの同時測定
波数補正用のNeランプが装置内部に標準搭載されています。サンプルと同時に測定することができ、Neランプの輝線スペクトルを基準に正確なピークシフトを取得できます。
アルミハニカムベンチ筐体に支えられた光学系により、安定性と再現性を兼備。環境温度変化やシステムの剛性に敏感なSiのストレス測定において、シフト量0.01 cm-1以下の検出を実現します。
NRS-5500/7500は、4枚のグレーティングをソフトウェア操作により自動で切換えることができます。レーザーに合わせたグレーティングを選択でき、光学調整が不要です。グレーティングを使い分けることで、広い波数範囲を一度に測定したり、狭い波数範囲を高い波数分解で細かく測定すること等が可能です。
NRS-5500/7500は、標準搭載の532 nmレーザーの他にオプションで13種類のレーザーが選択可能です。レーザー波長により試料へのダメージや蛍光、アライメントにしやすさ等が異なります。NRS-5500/7500には内蔵2台及び外部6台の合計8台のレーザーを搭載することが可能なため、測定に応じてレーザーを変更することも可能です。
また、NRS-5500/7500は紫外レーザーを搭載できます。短波長レーザーはレーザーの侵入長が浅くなり、紫外レーザーを用いることで試料の最表面のスペクトルを得ることが可能です。
同時に2台の検出器を搭載できます。検出器は、波長帯や求める分解、高速イメージング対応などの条件に合わせて選択します。検出器の切替はソフトウェアからの操作のみで完了します。
リジェクションフィルターを最大3枚まで入れることが可能で、個別に入射角度の微調整が行えます。極低波数測定用のフィルターを使用する場合、フィルターへの入射角度を微調整することで、その性能を最大限生かすことができ、より低波数域まで測定が可能となります。
JIS C 6802:レーザー製品の安全基準におけるクラス1に対応しています。さらに、レーザー照射のインターロック制御で安全性を高めます。電動開閉ドアはステージ周りの振動を排除し、開口の広い試料室は最大で80 mmの厚い試料や大型アクセサリーに対応します。