走査型近接場光学顕微分光システム

高寿命、高輝度、省電力などといった性質を有する青色LEDは、スマートフォンのバックライトやブルーレイディスク等様々なものに応用されており、今や私たちの生活に切っても切り離せない物となっています。 一般にその青色LEDの材料として窒化ガリウム（InGaN）が用いられています。 InGaNはInの組成量によりバンドギャップが2V ～3.4Vの間で大きく変化するという性質を有しています。 一方、Inの組成量が増加するにつれ、均一な結晶成長が難しくなるという問題もあります。 現在、この不均一性を評価する方法として様々な方法が提案されています。

ここでは近接場PL分光装置を用いてIn組成の不均一性を評価した例を示します。尚、比較として、顕微PL分光装置による測定も行いました。