走査型近接場光学顕微分光システム

NFSシリーズでは、光ファイバーの先端を先鋭化した大きさが数十～百nm程度の開口を持つプローブを、近接場光発生あるいは、試料から近接場光集光のために用いています。

日本分光は開口作製技術を神奈川科学技術アカデミー（KAST）の研究成果をもとに開発し、特定サイズの開口を持つプローブを再現性良く製作できるようになりました。開口サイズは電子顕微鏡による高度の品質管理が行われています。

日本分光では、プローブとして開口型と散乱型の両方を用意しています。

開口型では光ファイバーを使用するため、透過波長により制限があります。

そのため、赤外光を使用する際は、散乱型を使用します。