フーリエ変換赤外分光光度計
ウェーハ反射率測定システム
ウェーハ中に不純物として含まれる酸素や炭素、窒素は、そのウェーハの性能に大きく影響を与えます。フーリエ変換型赤外分光光度計ウェーハ反射率測定システムは、FT/IRの試料室内に専用のステージを設置することにより最大12インチのウェーハの透過・反射測定を行うことができるシステムです。専用のソフトウェアでマッピング測定を行うこともできます。
ウェーハ反射率測定システムの特長
非破壊・非接触での評価
赤外光を使用するため、非破壊・非接触で試料の評価を行うことができます。
高い精度と再現性
日本分光製FT/IRの機能を存分に生かし、高精度、高再現性の測定が可能です。
詳しくはこちら >各種規格に対応
JEITAやJEIDA等各種規格に対応しています。
- シリコン中の炭素濃度: JEITA-EM-3503
- シリコン中の酸素濃度: JEIDA-61-2000
- シリコン中の窒素濃度: JEITA-EM-3512
- アモルファスシリコン中の水素濃度
- シリコン窒化膜中の水素濃度
