フーリエ変換赤外分光光度計
ウェーハ反射率測定システム
仕様
ウェーハ反射率測定システム
モデル名 |
12インチウェーハ対応自動Yθステージ |
|---|---|
| 対応機種 | FT/IR-4000, 6000 series |
| 測定モード | 透過・反射測定（中心入射角15°） |
| 可動範囲 |
Y方向： 0～168mm θ方向： −180～180° |
| 位置精度 |
Y方向： ±0.5mm θ方向： ±0.19° |
| パージ対応 | 可能 |
| ソフトウェア | Yθマッピング測定プログラム |
