超臨界流体技術を使った微粒子形成プロセスには大きく分けて急速膨張法と貧溶媒添加法があります。これらの方法は、超臨界流体の温度や圧力、噴出し口(ノズル)の形状や温度、流体や有機溶媒への溶解度や混合方法、注入速度などの微粒子形成条件を変更することにより、結晶の構造、結晶化度、粒子形状、粒子径などの制御が可能となります。
急速膨張法とは、微粒子とする溶質が溶解した超臨界流体の圧力を急激に低下させ、流体体積を膨張させる方法です。流体密度の減少に伴う溶質の溶解力の低下により、均質な核形成と粒子への成長を生じさせます。
以下の方法が知られています。
貧溶媒添加法は、超臨界流体を貧溶媒として利用し、微粒子を析出・形成させる晶析プロセスです。この方法は、微粒子化させる溶質を溶解させた有機溶媒を超臨界流体と混和したとき、体積膨張及び有機溶媒の密度の減少による溶質の溶解度の低下が生じ、核形成を経て粒子が析出する手法です。
以下の方法が知られています。