フーリエ変換赤外分光光度計
ウェーハ反射率測定システム
測定例
シリコン中の炭素濃度測定
ウェーハ反射率測定システムでは、各規程で定められた検出限界より低濃度の炭素を定量可能です。
| 酸素濃度 | 炭素濃度 | 窒素濃度 | |
|---|---|---|---|
| 検出下限 (atoms/cm3) | 1×1016 | 2×1015 | 3×1014 |
図1 シリコン中低濃度炭素のスペクトル
ウェーハ反射率測定システムでは、各規程で定められた検出限界より低濃度の炭素を定量可能です。
| 酸素濃度 | 炭素濃度 | 窒素濃度 | |
|---|---|---|---|
| 検出下限 (atoms/cm3) | 1×1016 | 2×1015 | 3×1014 |