フーリエ変換赤外分光光度計
ウェーハ反射率測定システム
ソフトウェアの特長
シリコン中の濃度定量プログラム
シリコン中に含まれる水素や酸素などの濃度を定量するためのプログラムを用意しています。
図1 濃度定量プログラム画面
ウェーハのマッピング測定
ソフトウェアで設定することにより、マッピング測定を行うことができます。
図2 マッピング測定設定画面
シリコン中に含まれる水素や酸素などの濃度を定量するためのプログラムを用意しています。
ソフトウェアで設定することにより、マッピング測定を行うことができます。