モデル名 |
IRT-5200 |
|---|---|
| 対応FTIR本体 | FT/IR-4000シリーズ、6000シリーズ |
| 測光方式 | 透過・反射測定 |
| 観察方式 | ダイレクト・スルー方式 |
| 検出器 | 標準: ミッドバンドMCT検出器 オプション: ナローバンドMCT検出器、ワイドバンドMCT検出器、DLATGS検出器、InSb検出器、InGaAs検出器、リニアアレイミッドバンドMCT検出器(1×16素子, 2×16素子)、リニアアレイInSb検出器、リニアアレイInGaAs検出器 |
| 検出器切換 | オプション: 2検出器搭載(ソフト切換)、第2検出器着脱ユニット |
| SN比 | 8000:1 |
| 観察 | スマートモニタ(試料測定、観察同時可能) CMOSカメラ: 3倍光学ズーム付 オプション: カラー液晶モニタ、二眼鏡筒(ATOS機構内蔵) |
| 観察照明 | 高輝度白色LED(オートブライトネス機能付き) |
| 対物鏡 | 10倍、16倍、32倍選択 |
| 対物レンズ | オプション: 4倍、10倍、20倍 |
| 対物鏡切換機構 | 4穴電動レボルバー切換、対物自動認識機構付 |
| 集光鏡 | 10倍、16倍、32倍選択 |
| 集光鏡自動調整 | 標準機能 |
| アパーチャ | 自動2軸独立可変、回転 |
| 試料ステージ | 標準: マニュアルステージ オプション: 自動XYZステージ(オートフォーカス機能付き)、ジョイスティック |
| 真空対応 | 工場オプション |
スマートマッピング機能 |
ステージ移動を伴わないエリアマッピング、ATRマッピング、ライン測定、多点測定 |
|---|---|
| 自動XYZステージ制御 (自動XYZステージ取付時) |
ステージ移動、センターリング、エリアマッピング、ATRマッピング、多点測定、ライン測定、オートフォーカス、ATR圧力制御、マルチATRマッピング |
| データ処理 | ピーク高さ、2ピーク高さ比、ピーク面積、2ピーク面積比、ピークシフト、ピーク半値幅、距離計測 |
| イメージ表示 | カラー3D表示、鳥瞰図表示、等高線表示、色分け表示、三次元表示、二次元表示、オーバーレイ表示 |
