大型試料室
試料室幅が200 mm あり、サードパーティー製を含む大型付属品も使用できます。スマートパージにより対応付属品はセットするだけでパージができます。簡単に取り外しが可能な試料室フタになっています。
ATR PRO 4X VIEW 操作性を向上させた一体型 ATR
本体と一体となるデザインにより、操作性が格段に向上しました。プリズム面が本体上面より高い位置にあるため、大型の試料も容易に測定できます。IQX アクセサリーにより自動的に ATR に適した測定条件に設定されます。
一体型のデザイン
ATR PRO 4X VIEW は、一体型のデザインのため大型の試料でも本体と干渉せず測定できます。
IQX アクセサリー
IQX アクセサリーによりセットした付属品が自動認識され、前回使用した測定条件が起動します。
高解像度カメラ
ATR PRO 4X VIEW は内蔵した高解像度カメラによりダイヤモンドプリズムに密着した試料表面の画像を確認でき、測定データと一緒にファイル化されます。
プリズム
ATR PRO 4X VIEW は、ダイヤモンド以外に ZnSe と Ge プリズムがあり、簡単に交換できます。プリズムが交換されると、プリズムのスペクトルを認識して画面にメッセージが表示されます。
透過
MAIRSユニット
AM-4500X
赤外透明基板上の薄膜を、複数の入射角で透過測定を自動で行い、膜の分子配向を解析します。さらに付属のソフトウェアにより配向角が算出できます。
MAIRS 自動測定ユニットの特集ページはこちら >
<仕様>
試料ホルダ |
2箇所 |
試料回転角 |
0°~45° |
偏光子 |
ワイヤーグリッド偏光子(KRS-5) |
立体角絞り |
付属(φ1 mm~全開、手動調整) |
減光器 |
付属(4、10、25 % の3種類) |
ソフトウェア |
専用自動測定・解析プログラム付属 |
* pMAIRS 法の場合、別途 MCT 検出器が必要
* MAIRS2 法の場合、別途 MAIRS2 用自動回転赤外偏光子が必要
長光路ガスセル
LPC-12M-S、LPC-12M-FV
半導体製造に使われる高純度ガスでは、数 ppm 以下の不純物ガスの測定が行われています。日本分光では、このようなニーズに対応した長光路ガスセルを用意しています。ガスセルのボディにはガラス製とステンレス製があり、用途によって選択いただけます。また、全真空型 FTIR 専用の長光路ガスセルも用意しています。
(左から順に)LPC-12M-S、LPC-12M-FV
型式 |
LPC-12M-S |
LPC-12M-FV |
光路長 |
12 m(測定対象に合わせて短くすることが可能) |
内容量 |
2.3 L |
ボディ材質 |
SUS316 |
SUS316 |
セル内壁 |
電解研磨(鏡面仕上げ) |
窓板 |
オプション: KBr, KRS-5, BaF2, CaF2, ZnSe 製窓板 |
Oリング |
バイトン製 (オプション: カルレッツ製) |
透過効率 |
15 %(FT/IR-6000シリーズ、アパーチャ5mm) |
その他 |
・オプションの加熱ジャケットによるエージングと加熱測定(ステンレスボディのみ)
・パージ測定に標準対応
・LPC-12M-FV は FT/IR-6XFV / FT/IR-8XFV 専用タイプ
|
液体用固定セル
溶液法による測定に使用します。固定セルの厚みは 0.025 mm~100 mm まで各種用意しています。セル厚が固定されているので、定量分析に適しています。
<仕様>
窓材 |
NaCl、KBr、KRS-5、CaF2 |
セル厚 |
0.025~10 mm |
気体セル
ガラス製のボディで窓材はセル枠に接着されています。
<仕様>
光路長 |
50 mm、100 mm |
窓材 |
NaCl、KBr、KRS-5、CaF2 |