エリプソメータ
M series
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豊富な特別付属品
Mシリーズでは付属品として多様なオプションステージを用意しています。
ここでは代表的な特別付属品についてご紹介します。付属品の詳しい情報、その他の付属品についてはカタログに記載しておりますので、ページ右上のボタンより資料請求をお願いいたします。
オプションステージ
自動X-θマッピングステージ AXQ-100
| 試料サイズ | 3～8インチ円形試料もしくは角形試料 |
|---|---|
| 試料厚 | 最大10mm |
| 保持方法 | 真空吸着による鉛直保持 |
| 専用プログラム付属 |
複屈折測定用透過ステージ MDR-102
| 試料サイズ | 50mm × 80mm ～ 2インチ円形試料もしくは角形試料 |
|---|---|
| 微動距離 | 横軸±20mm、縦軸±20mm、光軸を中心とした回転360°、上下左右あおり60° |
| 試料厚 | 最大5mm |
| 専用プログラム付属 |
異方性解析ステージ ADR-106
| 試料サイズ | 40 × 40 ～ 50 × 60mm（フィルム）、100 × 100mm t=1～5mm（液晶セル） |
|---|---|
| 設定角度 | 回転360°、左右あおり±45° |
| 専用プログラム付属 |
光弾性測定用透過ステージ PES-105
| 試料サイズ | 幅20mm、長さ50mmのフィルム |
|---|---|
| 印加外圧 | 5kg重以下 |
| 専用プログラム付属 |
