エリプソメータ
M series
※こちらの製品は現在販売しておりません。
エリプソメータ Mシリーズは6種類
M-210: レーザーエリプソメータ
He-Neレーザ光源専用でエリプソメータをローコストで提供
M-220: 分光エリプソメータ
高性能、高速サンプリング、コストパフォーマンスを誇るエリプソメータを実現
M-230: 紫外分光エリプソメータ
紫外領域対応光学系により240nmからの測定が可能
M-240: 近赤外分光エリプソメータ
近赤外用分光器を搭載し切り換えで1700nmまでをカバー
M-550: 水平置分光エリプソメータ
試料ステージが水平置きタイプの汎用膜厚測定システム
ELC-300: 液晶専用分光エリプソメータ
20µsecの時間分解で液晶配向のダイナミクスを高感度に検出
