エリプソメータ
M series
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仕様
M-210 / 220 / 230 / 240 / 550 / ELC-300
モデル名 |
M-210 | M-220 | M-230 | M-240 | M-550 | ELC-300 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 測定方法 | PEMデュアルロックイン方式、光サーボ/光リファレンス制御方式 | |||||
| 分光器 | - | ダブルモノクロ 自動波長駆動装置 |
ダブルモノクロ （260～900nm） シングルモノクロ （900～1700nm） 自動波長駆動装置 |
シングルモノクロ 自動波長駆動装置 |
ダブルモノクロ 自動波長駆動装置 |
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| 測定波長 | He-Neレーザ （632.8nm） |
He-Neレーザ （632.8nm） Xe光源 （260～860nm） |
He-Neレーザ （632.8nm） Xe光源 （240～700nm） |
He-Neレーザ （632.8nm） Xe光源 （260～900nm） ハロゲンランプ （900～1700nm） |
Xe光源 （350～800nm） |
He-Neレーザ （632.8nm） Xe光源 （260～860nm） |
| 入射角範囲 | 40°～90° 連続自動設定 （0.01°ステップ） |
45°～90° 連続自動設定 （0.01°ステップ） |
40°～90° 連続自動設定 （0.01°ステップ） |
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| 膜厚測定範囲 | 0～99999Å | |||||
| 測定時間 | 1msec以上 | 20µsec～16sec | ||||
| 測定精度* | 屈折率 ±0.01、膜厚 ±1Å、消衰係数 ±0.01 *精度は、測定時間100msec以上に関してのものです。また、表面状態、膜質により精度は異なります。 |
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| 試料室 | 試料垂直置き | 試料水平置き | 試料垂直置き | |||
| 検出系 | 検光子（グランテーラプリズム） 紫外可視域: 光電子増倍管、近赤外域: InGaAs-PINフォトダイオード（M-240） |
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ソフトウェア
本体標準 |
1. 時間変化測定 2. 膜厚測定 3. Δ-Ψシミュレーション 4. スペクトル測定・解析*1 5. 誘電率計算*1 6. 反射率算出*1 *1 M-210は分光タイプではないので使用できません |
|---|---|
| オプションプログラム |
1. マッピング測定（自動X-θマッピングステージに付属） 2. 多層膜解析*2 3. 多入射角測定 4. 感度シミュレーション*2 5. リターデーションコーシースペクトル近似*3 6. 楕円率測定・解析、波長固定複屈折測定（異方性解析ステージに付属）*3 7. 3次元屈折率測定（異方性解析ステージが必要）*3 8. 光弾性定数測定（光弾性測定用透過ステージに付属）*3 *2 M-210は分光タイプではないので使用できません *3 M-550は透過測定ができないので使用できません |
