フーリエ変換赤外分光光度計
FT/IR-6X/8X
豊富な特別付属品
FT/IR シリーズでは ATR 測定用付属品をはじめ、多様な状態のサンプルを測定するための液体セルや気体セルなど、測定目的にマッチした最適な分析システムを構築することができます。
ATR（全反射吸収測定）
1回反射ATR ATR PRO ONE X VIEW
試料を観察しつつ、適切な測定部位を選択して測定することができるATRです。
ATR PRO ONE X VIEW の特集ページはこちら >
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<仕様>
| プリズム |
観察型高効率ダイヤモンド、観察型広領域ダイヤモンド、ZnSe、Geより選択 広領域ダイヤモンドは 30 cm-1 まで透過します。 ZnSe、Geは観察不可 |
|---|---|
| 試料接触面積 | φ1.8 mm（高効率ダイヤモンド, 広領域ダイヤモンド） |
| φ2.5 mm（ZnSe, Ge） | |
| 反射回数 | 1回 |
| 入射角 | 45° |
| 耐圧 | 700 kg/cm2（高効率ダイヤモンド, 広領域ダイヤモンド） |
| 400 kg/cm2（ZnSe, Ge） | |
| 観察カメラ | USB カメラ |
1回反射ATR ATR PRO ONE X
FT/IRの試料室に設置することにより、ATR測定を行うことができます。
ATR PRO ONE X の特集ページはこちら >
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<仕様>
| プリズム |
高効率ダイヤモンド、広領域ダイヤモンド、ZnSe、Geより選択 広領域ダイヤモンドは 30 cm-1 まで透過します。 ZnSe、Geは観察不可 |
|---|---|
| 試料接触面積 | φ1.8 mm（高効率ダイヤモンド, 広領域ダイヤモンド） |
| φ2.5 mm（ZnSe, Ge） | |
| 反射回数 | 1回 |
| 入射角 | 45° |
| 耐圧 | 700 kg/cm2（高効率ダイヤモンド, 広領域ダイヤモンド） |
| 400 kg/cm2（ZnSe, Ge） |
密閉型1回反射 ATR ATR PRO 550X
試料を外気から守りつつATR測定を行うことが可能です。嫌気性試料や吸湿性試料の測定に適しています。
密閉型ATRの特集ページはこちら >
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<仕様>
| プリズム | ZnSe, Ge, ダイヤモンドより選択 |
|---|---|
| 試料接触面積 | φ1.5 mm |
| 反射回数 | 1回 |
| 入射角 | 45° |
| 耐圧 | 400 kg/cm2（ATR PRO550S-S） |
高感度反射
高感度反射測定装置 RAS PRO 85X
金属表面に、入射面に対して平行な偏光成分の光を入射することにより形成された定常波と金属表面上の相互作用が起きます。この相互作用を利用することにより透過法と比較して約1桁から2桁近くの感度の増大を観測できます。
高感度反射（RAS）の特集ページはこちら >
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<仕様>
| 光学系 | 屈折光学系 |
|---|---|
| 入射角 | 85° |
| 偏光子 | ワイヤーグリッド偏光子（KRS-5） |
| 偏光方向 | 平行偏光（固定） |
| 試料セット | 水平置き |
| 測定用マスク |
10 × 10 mm、10 × 20 mm （オプション 10 × 5 mm） |
* 10 × 10 mm および 10 × 5 mm 使用時はMCT検出器必須。
拡散反射
拡散反射測定装置 DR PRO 410MX
バックグラウンド用を含め14検体まで同時にセットすることができ、パージを破らずに試料を移動させることができます。
<仕様>
| 試料ホルダ | ７連試料ホルダ × 2 |
|---|---|
| オプション | 試料電動切替 |
正反射
反射測定装置 RF-81S
リファレンスミラーの反射率に対する試料の相対反射率を求めることができます。また、金属板上の塗膜（～3 µm）の測定などにも用いられます。
<仕様>
| 入射角（中心） | 10° |
|---|---|
| 反射回数 | 1回 |
| 試料マスキングサイズ | φ1、3、5 mm |
透過
MAIRSユニット AM-4500X
赤外透明基板上の薄膜を、複数の入射角で透過測定を自動で行い、膜の分子配向を解析します。さらに付属のソフトウェアにより配向角が算出できます。
MAIRS 自動測定ユニットの特集ページはこちら >
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<仕様>
| 試料ホルダ | ２箇所 |
|---|---|
| 試料回転角 | 0°～45° |
| 偏光子 | ワイヤーグリッド偏光子（KRS-5） |
| 立体角絞り | 付属（φ1 mm～全開、手動調整） |
| 減光器 | 付属（4、10、25 % の３種類） |
| ソフトウェア | 専用自動測定・解析プログラム付属 |
* pMAIRS 法の場合、別途 MCT 検出器が必要
* MAIRS2 法の場合、別途 MAIRS2 用自動回転赤外偏光子が必要
長光路ガスセル LPC-12M-S、LPC-12M-FV
半導体製造に使われる高純度ガスでは、数 ppm 以下の不純物ガスの測定が行われています。日本分光では、このようなニーズに対応した長光路ガスセルを用意しています。ガスセルのボディにはガラス製とステンレス製があり、用途によって選択いただけます。また、全真空型 FTIR 専用の長光路ガスセルも用意しています。
（左から順に）LPC-12M-S、LPC-12M-FV
型式 |
LPC-12M-S | LPC-12M-FV |
|---|---|---|
| 光路長 | 12 m（測定対象に合わせて短くすることが可能） | |
| 内容量 | 2.3 L | |
| ボディ材質 | SUS316 | SUS316 |
| セル内壁 | 電解研磨（鏡面仕上げ） | |
| 窓板 | オプション: KBr, KRS-5, BaF2, CaF2, ZnSe 製窓板 | |
| Oリング | バイトン製 （オプション: カルレッツ製） | |
| 透過効率 | 15 %（FT/IR-6000シリーズ、アパーチャ5mm） | |
| その他 |
・オプションの加熱ジャケットによるエージングと加熱測定（ステンレスボディのみ） ・パージ測定に標準対応 ・LPC-12M-FV は FT/IR-6XFV / FT/IR-8XFV 専用タイプ |
|
液体用固定セル
溶液法による測定に使用します。固定セルの厚みは 0.025 mm～100 mm まで各種用意しています。セル厚が固定されているので、定量分析に適しています。
<仕様>
| 窓材 | NaCl、KBr、KRS-5、CaF2 |
|---|---|
| セル厚 | 0.025～10 mm |
気体セル
ガラス製のボディで窓材はセル枠に接着されています。
<仕様>
| 光路長 | 50 mm、100 mm |
|---|---|
| 窓材 | NaCl、KBr、KRS-5、CaF2 |
KBr錠剤法
ミクロ錠剤成形器
φ2、3、5 mmのミクロ錠剤を成型する成形器です。錠剤を作るときの試料量はφ3 mm で50 µg 程度です。
成型にはミニプレスまたは油圧プレス （別途ミクロ錠剤成形器用台を用意）が必要です。
φ3、5 mm には、表面をコーティングして錆びにくくしたタイプもあります。
<規格>
| 錠剤径 | φ2、3、5 mm |
|---|
その他
偏光装置 PL-82
赤外領域の光を直線偏光にし、高分子フィルムやコーティング膜、配向膜などの二色性測定に使用します。
<仕様>
| 偏光子 | ワイヤーグリッド偏光子（KRS-5） |
|---|---|
| 角度設定表示 | 0°～180° |
